电流－电压测量功能

• 0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精准测量范围
• 点测量和扫描测量功能
• 脉冲点测量和扫描测量，*小脉宽达 500 µs
• ASU（自动传感和开关单元）可以与 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的测量分辨率和 SMU/AUX 路径切换

EasyEXPERT group+ 软件

• 表征环境可以在用户 PC 上使用
• 直观的图形用户界面（GUI）操作，支持键盘和鼠标
• 多种测量模式，实现快速设置和测量执行（应用测试、典型测试和快速测试）
• 图形显示和自动分析功能，能够生成数据并导入 Excel 和图像以便分析和报告

E5270B 硬件

• 测量模块可升级至 8 插槽配置
• 可选择高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）进行配置。支持选件 ASU 用于 HRSMU
• 高分辨率和高速模数转换器（ADC）可以用于所有已安装的模块
• 主机中配备有源接地单元（GNDU），以施加 0 V 电压和吸收高达 4 A 的电流