中心负责人：刘景全 特聘教授

团队构成：

该中心现有特聘教授1名、研究员1名、副教授5名（其中国家海外高层次青年人才2名）、助理研究员2名、博士后1名。

研究目标：

针对日益增长的深海探测、安全、探矿等需求，该中心主攻宽频高灵敏仿生MEMS智能压电水听器研究，辅助集成其他类型MEMS传感器（磁敏、电场、温度等），旨在于长兴海洋实验室构建海洋智能MEMS传感器与微系统设计、制备、封装及测试全链条平台，形成准工业化能力，逐步引领我国海洋MEMS传感器发展，并形成重要影响。

研究内容：

1.宽频高灵敏仿生MEMS智能压电水听器

宽频高灵敏仿生MEMS智能压电水听器由水声采集模块和信号处理模块组成，水声采集模块又含水听器和水声发射单元，可基于8寸电晶圆实现批量化制备。水听器结构设计基于仿生的人体耳蜗及纤毛振动，可实现宽频高灵敏水声信号采集。水声发射单元作为基准可滤除环境噪声。此外，基于专用集成电路芯片的信号处理模块可实现水声信号的低功耗原位处理。上述模块可通过再布线实现异质异构集成，最后完成内外压平衡的声匹配液体封装。固定水听器模组可用于海底热液区地质构造活动监测，该模组还可拓展为超细线阵随水下潜器进行灵活性信号监测。

2.海洋智能MEMS传感器与微系统研发平台

该平台主要围绕海洋MEMS传感器设计、制备、封装、测试全链条研发，主要分为流片区、表征与封装区、深海环境模拟测试三大功能区。

中心联系人：程炎静（chengyanjing@sjtu.edu.cn）